臭氧为强氧化剂，对多种物品有损坏，浓度越高对物品损害越重，可使铜片出现绿色锈斑、橡胶老化，变色，弹性降低，以致变脆、断裂，使织物漂白褪色等。

  臭氧具有很强的氧化性，除了金和铂外，臭氧气体几乎对所有的金属都有氧化和腐蚀作用，而在水中的腐蚀更快。铁、铝、锌、铅与臭氧接触会被强烈氧化，但含铬铁合金基本上不受臭氧腐蚀。生产上常使用含25%Cr的不锈钢来制造臭氧发生设备以及和臭氧直接接触的部分。

  臭氧对非金属材料也有了强烈的腐蚀作用，如PVC（聚氯乙烯），很容易被氧化到松脆不可口，变得疏松、开裂和穿孔。在臭氧发生器的工艺应用中，包括臭氧发生器生产、计量、混合、输送，以及作用现场的器具物品，都不能用普通橡胶作密封材料，必须采用耐腐蚀能力强的硅橡胶或抗氧化材料。

  在臭氧发生器的实际应用中，臭氧会对中央空调送风管道、传送带、水泵、电磁阀、橡胶类密封垫圈、玻璃钢罐、304以下不锈钢、铸铁类机械、塑料制品等有程度不通的腐蚀作用。有些金属会和臭氧反应，在表面形成一层致密的氧化膜，可以阻碍进一步氧化。